基本信息
| 标准名称： | 真空离子镀膜设备 |
| 英文名称： | Vacuum ion coating plant |
| 中标分类： | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
| ICS分类： | 流体系统和通用件 >> 真空技术 |
| 替代情况： | 替代JB/T 8946-1999 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2010-02-11 |
| 实施日期： | 2010-07-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 归口单位： | 全国真空技术标委会 |
| 起草单位： | 沈阳北宇真空设备厂;沈阳真空技术研究所 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 2010-07-01 |
适用范围
本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
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所属分类： 机械 通用机械与设备 真空技术与设备 流体系统和通用件 真空技术